SEMICON China 2026：UPW 超纯水系统与 SEMI F72 表面处理的协同
晶圆级水质的严苛性
先进制程对 UPW 中的颗粒、金属与 TOC 要求进入 ppt/ppb 量级，任何管材析出或脱落都会转化为良率损失。SEMICON 展商普遍把「全管路低析出」作为卖点。
SEMI F72 与表面处理
SEMI F72 规范了高纯水系统组件的表面处理与清洁度确认流程。316L 经 EP 后需做表面异物与颗粒物确认，并提供可追溯的清洗与包装记录，杜绝运输二次污染。
- SEMI F72 表面确认
- EP 后颗粒/异物检测
- 洁净包装与追溯
在线监测与环路设计
分配环管设在线 TOC、电阻率与颗粒计数器，配合 0.1–0.2μm 终端过滤构成多重屏障；环路保持湍流（Re>...）以减少滞留。
与过滤终端的衔接
UPW 使用点（POU）过滤器直接串联在 316L 环管末端，KOSA 提供与 SEMI 兼容的接口与验证文件，缩短客户 FAT/SAT 周期。
获取选型与技术支持
每一条高洁净管线都需要结合介质特性、流量与合规要求单独设计。欢迎将您的工艺参数（介质、温度、流量、标准）发送给 KOSA 应用工程师，我们将提供管路布置图、材质建议与报价。
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